我們知道電子廠無塵車間作為一種比較特殊的生產(chǎn)車間,比起普通車間封閉性更強(qiáng),一旦發(fā)生火災(zāi)后果也是比較嚴(yán)重的,這就要求這忠車就種車間要做好防火措施。那么電子廠無塵車間應(yīng)該用什么滅火器呢? 電子廠無塵車間用什么滅火器? 市面上的滅火器類型有很多種,比較常見的有干粉滅火器、泡沫滅火器、二氧化碳滅火器等,每種滅火器有其優(yōu)勢(shì)也有其劣勢(shì),那么是不是都適合使用在無塵車間呢?答案肯定是否定的,我們知道無塵車間和普通的生產(chǎn)車間是不一樣的,這種車間主要用來作為一些對(duì)環(huán)境潔凈度要求高的產(chǎn)品的生產(chǎn),所以說車間的潔凈度要求是比較高的,這就要求使用的滅火器最好不能影響車間的潔凈度。 干粉滅火器在使用的時(shí)候會(huì)釋放大量的粉塵,而這些粉塵是會(huì)對(duì)電子無塵車間的潔凈度帶來影響的,所以是不適合使用在潔凈室內(nèi)。再來看看泡沫滅火器,它的瓶身內(nèi)裝有硫酸鋁和碳酸氫鈉溶液兩種溶液,滅火時(shí)兩種溶液混合生成氫氧化鋁和二氧化碳的泡沫混合液來撲滅火勢(shì)。 而這些溶液對(duì)于無塵車間內(nèi)的設(shè)備會(huì)造成一定的腐蝕 , 且我們知道電子無塵車間內(nèi)的設(shè)備通常都是比較貴重的,一旦損壞后果比較嚴(yán)重,所以這種滅火器也是不適合使用在潔凈車間的。 一般電子廠無塵車間會(huì)建議使用二氧化碳滅火器。二氧化碳滅火器內(nèi)裝有液態(tài)二氧化碳,當(dāng)打開滅火器時(shí)液態(tài)二氧化碳容易揮發(fā)成氣體二氧化碳,滅火的時(shí)候主要是利用瓶身內(nèi)的二氧化碳?xì)怏w來隔絕和稀釋空氣中...
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影響空氣過濾器過濾效率的因素有:空氣阻力、風(fēng)速、過濾面積、過濾材料、過濾材料、過濾風(fēng)速。過濾效率是根據(jù)可穿透離子大小及過濾微塵數(shù)量來取區(qū)分的。大多數(shù)情況下,過濾效率的高低直接取決于以下幾個(gè)因素:空氣阻力、風(fēng)速、過濾面積、過濾材料、過濾材料、過濾風(fēng)速等有著莫大的關(guān)系。一、空氣阻力 運(yùn)動(dòng)著的氣流碰到濾材,使氣流繞行,同時(shí)產(chǎn)生微小的阻力,無數(shù)過濾纖維是整個(gè)過濾裝置在一定風(fēng)速下產(chǎn)生一定的阻力和成為過濾裝置的空氣阻力。當(dāng)過濾裝置到達(dá)一定阻值時(shí)(終阻值),就要更換過濾裝置,這樣才能保證過濾效果。大多數(shù)情況下,終阻值設(shè)定為初祖值得2—4倍。過濾裝置越臟,阻值越大,相應(yīng)的同等風(fēng)速下風(fēng)量會(huì)越小。不要以為清洗過后,過濾阻力不再增高就認(rèn)為過濾裝置已恢復(fù)過濾機(jī)能,其實(shí)此時(shí)的過濾效率是零。所以,過濾器材是易耗品。 二、風(fēng)速 在大多數(shù)情況下,風(fēng)速越低,過濾效率越高。因?yàn)樵诘惋L(fēng)速下,小塵埃的擴(kuò)散作用明顯。氣流在濾材中滯留的時(shí)間就長一些,粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物。一次過濾效果明顯。對(duì)于效率高的濾材,風(fēng)速減小一半,粉塵通過濾材的幾率降低而效率會(huì)增加一倍。風(fēng)速增加一倍,透過濾材的粉塵機(jī)率會(huì)增大一倍,效率會(huì)降低一個(gè)數(shù)量級(jí)(減少一倍)。在風(fēng)速較低的時(shí)候,大顆粒在慣性運(yùn)動(dòng)時(shí),與纖維碰撞的機(jī)率減小,但是在實(shí)際應(yīng)用中這種影響并不明顯,因?yàn)轱L(fēng)速減小了,纖維對(duì)粉塵的反彈力也減小了,粉塵更容易粘附,...
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負(fù)壓病房沒有手術(shù)室要求那么高,必須全新風(fēng),全排風(fēng)。但是,一般情況下,負(fù)壓隔離病房,為了保證病房以外的醫(yī)患安全,每一個(gè)病房采取獨(dú)立的空調(diào)系統(tǒng),為了保證壓差梯度風(fēng)機(jī)采用變頻控制。(一)空調(diào)形式如果病房的風(fēng)系統(tǒng)可采用部分循環(huán)風(fēng)回風(fēng),那么回風(fēng)口必須采用 “動(dòng)態(tài)密封負(fù)壓高效無泄漏排風(fēng)裝置”,同時(shí)必須配有高效過濾器,否則,將有相當(dāng)?shù)牟话踩?。一般情況下采用每一個(gè)病房為一個(gè)獨(dú)立空調(diào)系統(tǒng)(為保證壓差梯度風(fēng)機(jī)采用變頻控制)。公共治療區(qū)設(shè)置獨(dú)立空調(diào)系統(tǒng),清潔區(qū)、潛在污染區(qū)、污物區(qū)應(yīng)分別設(shè)置空調(diào)系統(tǒng)。 圖 動(dòng)態(tài)密封負(fù)壓高效無泄漏排風(fēng)裝置(二)氣流組織形式: 圖 負(fù)壓隔離病房氣流流向圖 1.病房氣流組織氣流組織應(yīng)盡量排除死區(qū)、停滯區(qū)和避免送、排風(fēng)短路。送、排風(fēng)口的布置一般設(shè)在病床的端頭墻面,應(yīng)使?jié)崈艨諝馐紫攘鬟^病房內(nèi)醫(yī)護(hù)人員可能停留的區(qū)域,然后流過傳染源(主要指病人頭部)進(jìn)入排風(fēng)口。這樣,醫(yī)護(hù)人員就會(huì)處在氣流的上風(fēng)口,不會(huì)處于傳染源和排風(fēng)口之間。送風(fēng)口布置在房間的一側(cè),與病人相對(duì),排風(fēng)從病人頭部下風(fēng)側(cè)排出。氣流組織通常受到空氣送風(fēng)溫差、送排風(fēng)口準(zhǔn)確位置、醫(yī)療器具和家具擺放位置以及衛(wèi)生保健人員和病人活動(dòng)情況的影響。排風(fēng)口的底部應(yīng)在房間地板上方不低于100mm高的位置。 2.公共治療區(qū)的氣流流向致病因子可能傳播到隔離病區(qū)其它部分,因此,隔離區(qū)域應(yīng)...
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生物實(shí)驗(yàn)過程中防止生物污染也是生物實(shí)驗(yàn)室安全的重要環(huán)節(jié),生物安全柜的作用是可以有效地保護(hù)實(shí)驗(yàn)室人員安全以及實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的安全。生物安全柜的分類和使用注意事項(xiàng)有哪些? 生物安全柜的分類生物安全柜主要分為I、II 和 III幾大類,可提供不同級(jí)別的保護(hù),防止危險(xiǎn)或傳染污染。對(duì)于所有類別的生物安全柜,空氣在作為廢氣離開系統(tǒng)之前均需要經(jīng)過 HEPA 過濾。I 級(jí)生物安全柜旨在保護(hù)實(shí)驗(yàn)人員和環(huán)境,而不是樣品,因?yàn)樨?fù)壓裝置用于將外部空氣吸入工作區(qū)。盡管有多種生物安全柜有多種防護(hù)級(jí)別可供選擇,但較常用的 生物安全柜 仍然是 II 類中的 A2 型 生物安全柜。II 類生物安全柜主要分為四種亞型(A1、A2、B1 和 B2),并具有保護(hù)樣品的附加功能,因?yàn)榭諝夤?yīng)在通過工作空間之前都經(jīng)過 HEPA 過濾裝置的過濾。II 類亞型根據(jù)機(jī)柜內(nèi)的再循環(huán)空氣量進(jìn)行區(qū)分。III 級(jí)生物安全柜為生物安全 4 級(jí)密閉實(shí)驗(yàn)室的工作提供較大程度的保護(hù)。III 級(jí)生物安全柜實(shí)質(zhì)是一個(gè)密封的手套箱,只可以通過一個(gè)可以去污的灌籃或者雙門箱進(jìn)入。 生物安全柜使用時(shí)的注意事項(xiàng)生物安全柜的作用和實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)柜的作用類似,生物安全柜中安全處理樣本的實(shí)驗(yàn)操作過程中需要注意以下幾點(diǎn):1. 當(dāng)使用皮下注射針頭和注射器的時(shí)候,應(yīng)僅限于從隔膜塞住的試管中取出液體或給動(dòng)物接種。切勿將皮下注射針頭從注射器中取出或重新...
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檢測(cè)是凈化工程建設(shè)之后比較重要的一個(gè)項(xiàng)目,在檢測(cè)凈化工程各項(xiàng)指標(biāo)過程中,有部分潔凈度檢測(cè)不合格,有的是廠房局部,也有整個(gè)工程。如果檢測(cè)不合格,雖然甲乙雙方通過整改、調(diào)試、清沽等。費(fèi)勁千辛萬苦達(dá)到了工程的要求,但是卻浪費(fèi)了大量的人力和物力,有些得不償失了。其實(shí),有些原因和缺陷在檢測(cè)前是完全可以避免的。據(jù)賽特凈化設(shè)備有限公司多年經(jīng)驗(yàn)了解到,造成凈化工程潔凈度不合格的主要原因有:1.凈化車間的設(shè)計(jì)不合理這種現(xiàn)象比較少見,主要是在一些小型的凈化級(jí)別要求不太高的潔凈室建造上。現(xiàn)在凈化的競爭比較激烈,一些施工單位為了得到工程,在投標(biāo)中給出了較低的報(bào)價(jià)。在凈化工程的后期施工中,利用一些單位不太懂行的情況,偷工減料,使用功率較低的空調(diào)通風(fēng)壓縮機(jī)組,使送風(fēng)功率與凈化面積不匹配,導(dǎo)致潔凈度不合格。2.用低檔產(chǎn)品替代高檔產(chǎn)品在潔凈室高效過濾器的應(yīng)用上,國家規(guī)定在潔凈度10萬級(jí)或高于10萬級(jí)以上的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、中效、高效過濾器的三級(jí)過濾。而筆者在驗(yàn)證過程中,曾發(fā)現(xiàn)某大型凈化工程在l萬級(jí)的凈化級(jí)別上采用亞高效空氣過濾器代替高效空氣過濾器,從而造成了潔凈度不合格。最終更換了高效過濾器才符合了認(rèn)證的要求。3.回風(fēng)管道或回風(fēng)口設(shè)計(jì)、調(diào)試不好在設(shè)計(jì)方面的原因,有時(shí)因空間所限未能采用“頂送側(cè)回”或者回風(fēng)口數(shù)量不夠,在設(shè)計(jì)方面的原因排除后,回風(fēng)口的調(diào)試也是重要的工工環(huán)節(jié)。如果調(diào)試不好,回風(fēng)口阻力過大,回風(fēng)量...
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按指定方向沿著建筑物縫隙的氣流可以減少有害微粒的流通,如無較強(qiáng)干擾氣流,0.5-1.0M/S的流速可控制較輕粉塵和生物粒子。通過確定相鄰空間的壓力及壓差以控制氣流方向。在確定壓差的情況下,ISPE介紹了氣流通過縫隙(如門縫)的簡化計(jì)算方法。PV=(V/4005)2,V=Q/AVP=(Q/4005?A) 2 式中:4005為換算因子;V為速度,英尺/分,VP為速度壓力,此處設(shè)為房間壓差,英寸水柱;A為開孔面積,英尺為2;Q為空間流量,英尺3/分。當(dāng)孔口面積為1ft2、風(fēng)量為890ft3/min時(shí),在孔口兩側(cè)可形成0.05in水柱壓差。結(jié)構(gòu)縫隙會(huì)使室內(nèi)滲漏風(fēng)量大于計(jì)算風(fēng)量,故ISPE建議再按每英尺2房間面積附加(0.05-0.5ft/min)風(fēng)量,并通過滲漏測(cè)試進(jìn)行調(diào)整。 原理二:根據(jù)潔凈車間相對(duì)正壓的值確定正壓換氣次數(shù),依次計(jì)算正壓滲漏風(fēng)量。房間正壓換氣次數(shù)之間關(guān)系,可參照空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)手冊(cè)的推薦數(shù)值。因潔凈車間結(jié)構(gòu)、密封程度等都會(huì)影響滲漏風(fēng)量,故此法用于估算,詳細(xì)設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)兼顧其他因素。 壓差的測(cè)量與控制壓差的測(cè)量可采用兩種方式;不同房間之間;不同房間與同一個(gè)參照點(diǎn)之間。小型場所有限選擇不同等級(jí)區(qū)域之間的壓力,沒有氣鎖室時(shí)為潔凈室之間的壓差;大型設(shè)施通常采用共用參照點(diǎn)法,盡量減少傳感器數(shù)量,以減少復(fù)合誤差。 氣鎖室的設(shè)計(jì)在潔凈室出入口設(shè)氣鎖室,以...
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無塵車間工程項(xiàng)目在竣工完成之后,需要由相關(guān)人員對(duì)整個(gè)無塵車間的通風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行風(fēng)量檢測(cè)和風(fēng)速檢測(cè)。檢測(cè)的目的是了解風(fēng)量和風(fēng)速的偏差有多大,以便于工作人員現(xiàn)場調(diào)節(jié),要知道風(fēng)速過大是會(huì)影響空氣過濾器的使用壽命以及可能會(huì)將空氣過濾器吹穿。風(fēng)速過小又會(huì)直接影響車間內(nèi)部空氣的循環(huán)從而影響無塵車間空氣的潔凈度,下面是賽特凈化設(shè)備有限公司整理并分享的風(fēng)量和風(fēng)速的檢測(cè)方法,感興趣的可以了解一下。 無塵車間風(fēng)量和風(fēng)速的檢測(cè)方法如下: 1、風(fēng)量與風(fēng)速的檢測(cè)務(wù)必最先開展,潔凈空調(diào)機(jī)組的各項(xiàng)實(shí)際效果務(wù)必是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下得到。 2、風(fēng)量檢測(cè)前務(wù)必查驗(yàn)風(fēng)機(jī)運(yùn)作是不是一切正常,系統(tǒng)中各構(gòu)件安裝是不是正確無誤,有無障礙和問題,所有的閥門應(yīng)固定不動(dòng)在一定的開啟位置上,且一定要實(shí)際測(cè)量被測(cè)風(fēng)口和風(fēng)管的規(guī)格尺寸。 3、檢測(cè)室內(nèi)數(shù)字微風(fēng)速儀器的最小刻度或讀值不可超過0.02m/s,通??梢杂脽崆蚴斤L(fēng)速儀,必須測(cè)得分速度時(shí),應(yīng)選用超聲波三維風(fēng)速計(jì)。 4、針對(duì)單向流無塵車間,可運(yùn)用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法明確送風(fēng)量,垂直單向流無塵車間的測(cè)定截面取距室內(nèi)地坪0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面,若有阻隔面,該測(cè)定截面應(yīng)拉高至阻隔面以上0.25m;水平單向流無塵車間取距送風(fēng)面0.5m的垂直于室內(nèi)地坪的截面,截面上測(cè)點(diǎn)間隔不可超過1m,...
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潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)首先是空調(diào)系統(tǒng),因此,一般空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能措施,如圍護(hù)結(jié)構(gòu)保溫、系統(tǒng)變流量、排風(fēng)熱回收、選用高效制冷機(jī)、水泵風(fēng)機(jī)設(shè)備等,都可以適用于潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能設(shè)計(jì)和改造。同時(shí),潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)有自己的特點(diǎn),也就有自己的系統(tǒng)節(jié)能特點(diǎn)和方式。 1 潔凈風(fēng)量與空調(diào)風(fēng)量分開 潔凈室送風(fēng)的功能,一是空調(diào)(空氣進(jìn)行溫、濕處理,滿足潔凈室的溫、濕度要求);二是凈化(空氣過濾滿足潔凈室的潔凈度要求)。一般情況下凈化風(fēng)量大大超過空調(diào)風(fēng)量。如果讓空調(diào)送風(fēng)同時(shí)起到空調(diào)和凈化的作用,即空調(diào)風(fēng)量和凈化風(fēng)量不分開,所有的回風(fēng)都要經(jīng)過空調(diào)箱集中處理。此非常大風(fēng)量經(jīng)過空氣處理設(shè)備時(shí),阻力會(huì)很大,風(fēng)機(jī)耗能急劇增大。 同時(shí),為了除濕,所有回風(fēng)都要處理到露點(diǎn)狀態(tài),后為了不使室內(nèi)溫度過低,還需對(duì)送風(fēng)進(jìn)行再熱。冷熱抵消,造成不必要的浪費(fèi)。而如果把空調(diào)和凈化兩部分風(fēng)量分開處理,凈化風(fēng)量就只進(jìn)行過濾處理,可大大縮短凈化風(fēng)量輸送管道長度;而對(duì)于空調(diào)風(fēng)量,由于風(fēng)量變小,可以節(jié)省空氣冷熱處理,并且同時(shí)可以減小輸送斷面和輸送耗能。 在常見的潔凈空調(diào)送風(fēng)方式中,集中送風(fēng)方式、隧道式送風(fēng)方式都沒有很好地將空調(diào)風(fēng)量與潔凈風(fēng)量分開。為了方便空調(diào)和凈化功能的分離,可充分利用房間結(jié)構(gòu)就近完成。利用房間夾層將大部分潔凈風(fēng)量直接送至頂層的高效過濾器處,而無需離開潔凈室,從而降低了潔凈風(fēng)量的輸送能...
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芯片有著很強(qiáng)動(dòng)力和潛力,隨著國內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,對(duì)芯片需求不斷增多,從LED/半導(dǎo)體/線路板芯片制備到器件封裝,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境空氣品質(zhì)都有較高的要求,空氣品質(zhì)關(guān)系著成品率和產(chǎn)品品質(zhì)。很多半導(dǎo)體工業(yè)都需要用到無潔凈室。今天小編就來詳細(xì)介紹一下半導(dǎo)體集成電路潔凈室的原理還有標(biāo)準(zhǔn)是什么?以及日常維護(hù)事項(xiàng),一起往下看吧!【潔凈室】又稱為【無塵室】,是將一定空間范圍內(nèi)之空氣的微塵粒子、有害氣體、細(xì)菌等污染物排除于外,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi),而給予特別設(shè)計(jì)之房間。也就是說這個(gè)受控的房間內(nèi)之微塵粒子相當(dāng)稀少。根據(jù)國標(biāo)GB50073—2013,潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)為1~9級(jí)。在具體實(shí)踐中,常參考美國標(biāo)準(zhǔn)FS 209E,其中的空氣潔凈度等級(jí)有1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)等,如表1-1所示。潔凈室應(yīng)該具備哪些要素?基本上潔凈室應(yīng)該要具備以下的功能:1、能去除空氣中漂浮之微塵粒子。2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。3、能控制溫度及濕度。這是因?yàn)槊荛]的環(huán)境需要溫度及濕度控制以符合人體舒適度,另一方面溫度及濕度也可以控制微生物的生長。其次,濕度過大也會(huì)影響到電子產(chǎn)品的品質(zhì)。4、能調(diào)節(jié)壓力。這是為了要控制無塵室內(nèi)為正壓或負(fù)壓。5、能調(diào)節(jié)溫度。6、能防止靜電。這是一定要的,電子產(chǎn)品怕靜電了,尤其是還未封裝的晶圓...
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1微電子廠房潔凈是暖通空調(diào)設(shè)計(jì)原因及方法分析1. 1 氣流組織方式垂直單向流為潔凈室內(nèi)氣流流型,風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組在高效過濾器的作用下可以對(duì)空氣進(jìn)行預(yù)處理,確??諝膺_(dá)標(biāo)后再送入室內(nèi)。微電子廠潔凈廠房和生產(chǎn)工藝并不全都適合風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組送風(fēng)模式,但是此種送風(fēng)模式因其具備一定的優(yōu)勢(shì)被越來越多的微電子廠房潔凈室所使用。因?yàn)轱L(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組送風(fēng)模式下潔凈室內(nèi)壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于靜壓箱內(nèi)壓力,塵粒從靜壓箱向室內(nèi)滲透的情況較為少見。但是其他送風(fēng)模式下則需要采取更為復(fù)雜的方法,如接觸填料密封等方法來確保潔凈室頂棚的密封性,因此達(dá)不到負(fù)壓密封的要求。這是導(dǎo)致越來越多的微電子廠潔凈室采用風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組送風(fēng)模式的主要原因。此外,微電子廠潔凈室工藝的更新速度和調(diào)整速度均較快,工作人員可以對(duì)風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組進(jìn)行增減,在控制其數(shù)量的基礎(chǔ)上確保潔凈室潔凈度滿足生產(chǎn)工藝的需求。由此可見,風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組送風(fēng)模式靈活性較高,與其他送風(fēng)模式相比更具優(yōu)勢(shì)。但是風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組送風(fēng)模式也有一定的不足,該送風(fēng)模式下設(shè)備需要在吊頂上安裝,因此會(huì)產(chǎn)生較大的噪音和振動(dòng),期間設(shè)備安裝成本較高,這也是微電子廠潔凈室暖通空調(diào)設(shè)計(jì)需要考慮的問題。1. 2 空調(diào)負(fù)荷計(jì)算估算是潔凈室內(nèi)冷負(fù)荷計(jì)算的主要方式,其中估算指標(biāo)包括生產(chǎn)工藝、操作人員數(shù)量以及圍護(hù)結(jié)構(gòu)等。估算出來的潔凈室主生產(chǎn)區(qū)和光刻區(qū)冷負(fù)荷指標(biāo)分別為 450...
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