一、高純氣體 、特種氣體管道及其閥門附件等的材質(zhì)應(yīng)符合工程設(shè)計文件的要求。采用低碳不銹鋼管時，其安裝施工應(yīng)符合規(guī)范的規(guī)定。二、管路系統(tǒng)的試運轉(zhuǎn)應(yīng)包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。三、高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施安裝前，應(yīng)按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書的要求，檢查設(shè)備及填充的純化材料、閥門和管件的完整性、密封性，并應(yīng)做檢查記錄。檢查數(shù)量：按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查。檢驗方法：觀察檢查、尺量。四、純化設(shè)備、特氣柜的搬運、就位應(yīng)符合下列規(guī)定：1搬入潔凈室(區(qū))前應(yīng)進行清潔，符合要求后應(yīng)從規(guī)定的設(shè)備搬入口運入；2整體設(shè)備搬運時，應(yīng)按設(shè)備的構(gòu)造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運輸，不得倒置，并應(yīng)可靠固定；3設(shè)備就位時，應(yīng)按工程設(shè)計文件和產(chǎn)品說明書要求，做好接管、接線定位；4就位后，水、電接口應(yīng)按工程設(shè)計文件要求連接；5氣體管道接口應(yīng)在分系統(tǒng)的氣體輸送管道安裝試運轉(zhuǎn)合格后再連接。檢查數(shù)量：按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查。檢驗方法：觀察檢查、尺量。五、高純氣體、特種氣體系統(tǒng)的閥門箱、吹掃盤的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)檢查箱體及箱內(nèi)閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書等，并應(yīng)做好記錄；2安裝位置應(yīng)按工程設(shè)計文件、產(chǎn)品說明書要求進行，并應(yīng)檢查接管、接線方位的正確性；3氣體管道接口應(yīng)在所在系統(tǒng)試運轉(zhuǎn)合格后再連接。檢查數(shù)量：按氣體品種、分系統(tǒng)全數(shù)檢查。檢驗方法：觀察檢查、尺量。六、高純氣體、特種氣體...
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一、微振控制設(shè)施施工（一）一般規(guī)定1微振控制設(shè)施應(yīng)與潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)、動力公用工程、凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)等相關(guān)設(shè)施同步施工安裝。2微振控制設(shè)施的施工應(yīng)根據(jù)具體工程項目特點，并按微振控制設(shè)施的設(shè)計、測試和建造程序進行。（二）微振控制設(shè)施施工主控項目（1）潔凈廠房的微振控制設(shè)施的施工應(yīng)按下列階段進行測試分析：1現(xiàn)場環(huán)境振動測試及分析；2建筑結(jié)構(gòu)振動特性測試及分析；3精密設(shè)備儀器安裝場所環(huán)境振動測試及分析；4竣工驗收測試及分析。檢查數(shù)量：全數(shù)檢查。檢驗方法：核查測試分析報告。（2）隔振臺、隔振裝置、隔振器等的施工安裝應(yīng)符合工程設(shè)計文件的要求。檢查數(shù)量：全數(shù)檢查。檢驗方法：核查施工安裝記錄。（3）隔振裝置施工安裝時，應(yīng)核對空氣彈簧隔振器、阻尼器、限位器、高度調(diào)節(jié)器，以及配管、底座的規(guī)格、數(shù)量、尺寸，并應(yīng)符合設(shè)計要求。檢查數(shù)量：全數(shù)檢查。檢驗方法：觀察檢查，尺量。（4）安裝隔振器的地面、臺板等應(yīng)平整、清潔；各組(個)隔振器承受荷載的壓縮量應(yīng)均勻，高度誤差應(yīng)小于2.0mm。檢查數(shù)量：全數(shù)檢查。檢驗方法：觀察檢查，尺量。（5）隔振設(shè)施安裝時應(yīng)調(diào)整被隔振體高度達到規(guī)定值。檢查數(shù)量：全數(shù)檢查。檢驗方法：觀察檢查，尺量。一般項目（6）隔振臺的臺板表面應(yīng)平整、清潔，臺板水平度誤差應(yīng)符合設(shè)計要求，且不宜大于3‰。檢查數(shù)量：全數(shù)檢查。檢驗方法：觀察檢查，尺量。（7）隔振所用的支、吊架，其結(jié)構(gòu)形式、尺寸應(yīng)符...
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一、一般規(guī)定（1）屏蔽設(shè)施的施工安裝應(yīng)制定屏蔽體施工方案，嚴格審查圖紙。（2）屏蔽材料選擇、屏蔽體(墻體則包括觀察窗)厚度、屏蔽體結(jié)構(gòu)應(yīng)嚴格符合設(shè)計要求。二、屏蔽體（1）當(dāng)電磁屏蔽采用混凝土?xí)r，其密度不得低于設(shè)計要求，并不小于2.35t/m3，骨料宜用重晶石(硫酸鋇)，厚度不得小于設(shè)計要求。（2）應(yīng)制定選配混凝土并保證其達到密度大于等于2.35t/m3的措施、混凝土養(yǎng)護過程中產(chǎn)生的溫度與外界溫度之差不超過20℃的措施和澆搗、養(yǎng)護施工縫處理措施，并應(yīng)制定墻體和屋頂模板支護方案。（3）當(dāng)所用混凝土不具備2.35t/m3的密度而具有實際密度值r，應(yīng)增加屏蔽層原設(shè)計厚度δ，實際所需混凝土厚度δ按下式校正：δ= 2.35δ0/γ0（4）現(xiàn)澆混凝土模版應(yīng)平整光滑，并應(yīng)以實心圓鋼用對翹螺栓固定，控制厚度。（5）混凝土應(yīng)一次性連續(xù)澆注，根據(jù)氣象信息，選擇適合大體積混凝土施工的周期?；炷翍?yīng)分層搗實，每層控制在300mm~500mm，澆注振搗必須均勻密實。（6）應(yīng)制作屏蔽體試塊進行密度、強度等檢測，檢測結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計要求。（7）在輻射源與防護門之間加設(shè)的屏蔽體(防護內(nèi)墻)所形成的防護通路，其寬度與高度應(yīng)滿足可以過人過物為原則，不宜超過0.9m，不應(yīng)超過1.4m。三、屏蔽室（1）可拆卸式電磁屏蔽室的壁板、頂板和底板宜選用1.5mm厚鋼板，或0.3mm~0.5mm厚銅板、鋁板或不銹鋼板。屏蔽模塊板相互連...
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一、原理（1）保持室內(nèi)為正壓或負壓均能滿足檢驗要求，但條件允許時，負壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負壓檢驗。（2）可按以下方法進行檢測：1.壓力衰減法使室內(nèi)達到某一壓力(正壓或負壓)，關(guān)閉加壓或抽負壓系統(tǒng)，觀察壓力隨時間哀減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的半時所用的時間，即為測量室內(nèi)正壓或負壓的半衰期。2.恒壓法使室內(nèi)達到某一正壓，同時向室內(nèi)補氣，使室壓達到要求的穩(wěn)定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內(nèi)達到某一負壓，使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。二、壓力衰減法（1）可按以下步驟進行檢測1.將所測潔凈室的溫度控制在設(shè)計范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定，記錄壓力衰減測試過程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃)。2.關(guān)閉所測潔凈室圍護結(jié)構(gòu)上的門、傳遞窗等，關(guān)閉回風(fēng)管(或排風(fēng)管)上的氣密閥門，不得在風(fēng)口上加其他密封措施，并維持各種孔洞縫隙的密封現(xiàn)狀。3.開啟送風(fēng)，使室內(nèi)壓力上升至已商定的測試壓力(壓力計量程至少為測試壓力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa)，壓力穩(wěn)定后，停止送風(fēng)，關(guān)閉送風(fēng)閥門。4.或反之關(guān)閉送風(fēng)管上的閥門，如果送風(fēng)管上無閥或閥不嚴，應(yīng)在送風(fēng)口上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口，開啟排風(fēng)，使室內(nèi)壓力下降至已商定的測試壓力，壓力穩(wěn)定后，停止排風(fēng)，關(guān)閉排風(fēng)氣密閥門。5.從停止送(排)風(fēng)起，記錄壓力隨時間衰減的數(shù)據(jù)，每1min記錄1次壓差和...
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一、溫濕度的檢測（1）無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應(yīng)符合下列要求：1室內(nèi)空氣溫度和相對濕度測定之前，空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數(shù)字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風(fēng)式干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的最小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的最小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應(yīng)在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測完室內(nèi)溫濕度后，還應(yīng)同時測出室外溫濕度。（2）有恒溫恒濕要求房間的溫濕度檢測應(yīng)符合下列要求：1選擇以下檢測儀器：1)溫度計：采用鉑電阻、熱電偶或其他類似溫度傳感器組成測溫系統(tǒng)；2)濕度計：可采用干濕球溫度計或其他固態(tài)濕度傳感器組成測濕系統(tǒng)。2檢測方法與步驟如下：1)室內(nèi)空氣溫度和相對濕度測定之前，空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運行至少12h；2)根據(jù)溫度和相對濕度波動范圍，應(yīng)選擇相應(yīng)的具有足夠精度的儀表進行測定。根據(jù)由低到高的精度，測定宜連續(xù)進行(8~48)h，每次測定間隔不應(yīng)大于30min；3)室內(nèi)測點可在送回風(fēng)口處或在恒溫恒濕工作區(qū)具有代表性的地點布置。測點一般應(yīng)布置在距外墻表面大于0.5m、距地0.8m的同一高度上；也可以根據(jù)恒溫恒濕區(qū)的大小，分別布置在離地不同高度的幾個平面上。（3）按以下方法進行數(shù)據(jù)整理：室內(nèi)溫度、相對濕度波動范圍：按各測點的各次溫度和相對濕度...
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一、一般規(guī)定1承擔(dān)潔凈室施工的單位應(yīng)按規(guī)范的相關(guān)規(guī)定，建立質(zhì)量管理體系。2潔凈室的各級施工人員應(yīng)有必要的潔凈室施工經(jīng)歷，明確的分工和職責(zé)。3特殊工種作業(yè)人員應(yīng)持證上崗。4施工單位應(yīng)編制施工組織設(shè)計，制定具體工程的施工程序，并按程序?qū)κ┕と^程實行質(zhì)量控制。5施工過程中，不得違反設(shè)計文件擅自改動系統(tǒng)、參數(shù)、設(shè)備選型、配套設(shè)施和主要使用功能。當(dāng)修改設(shè)計時，應(yīng)經(jīng)原設(shè)計單位確認、簽字，并得到建設(shè)單位的同意，在通知監(jiān)理方之后執(zhí)行。6施工安裝的全過程、竣工設(shè)施的詳細情況、所有操作和維護程序，都應(yīng)采用文件形式確認。為施工安裝的運作提供文字依據(jù)，為責(zé)任和獎懲提供明確依據(jù)，為質(zhì)量改進提供原始依據(jù)。7應(yīng)加強施工現(xiàn)場的防火工作，嚴格執(zhí)行防火安全規(guī)定，施工隊伍進入現(xiàn)場應(yīng)建立防火組織，責(zé)任到人。8應(yīng)做好安全技術(shù)工作的書面交底，并認真做好記錄，加強防范意識。二、人員和文件1施工生產(chǎn)管理和質(zhì)量管理的責(zé)任人不得互相兼任。必須配備質(zhì)量檢查人員。2各級施工負責(zé)人和質(zhì)量檢驗人員應(yīng)定期經(jīng)過潔凈室施工驗收規(guī)范的專業(yè)技術(shù)培訓(xùn)。3工程施工應(yīng)有開工報告、 分項驗收單、竣工驗收檢測調(diào)整記錄和竣工驗收單、竣工報告，按規(guī)定記錄。4施工安裝工程中應(yīng)有設(shè)備開箱檢查記錄、土建隱蔽工程記錄、管線隱蔽工程系統(tǒng)封閉記錄、管道壓力試驗記錄、管道系統(tǒng)清洗(脫脂)記錄、風(fēng)管清洗記錄、風(fēng)管漏風(fēng)檢查記錄、設(shè)備單機試運轉(zhuǎn)記錄、系統(tǒng)聯(lián)合試運轉(zhuǎn)記錄等，按規(guī)定記錄...
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一、防靜電地面（1）防靜電地面面層應(yīng)選擇耐磨、耐腐蝕、耐老化、不產(chǎn)塵、防火并具有穩(wěn)定持久的防靜電性能的材料制作。（2）在有220V及其以上電壓的場所，其防靜電地面宜使用靜電耗散型材料，其表層的表面電阻應(yīng)為1×105Ω~1×1010Ω，或體積電阻1×104Ω~1×109Ω（3）具有不燃性能要求的地面宜選用防靜電水磨石和防靜電瓷質(zhì)地板。二、防靜電水磨石地面（1）防靜電水磨石所用砂、石、水泥嵌條等材料，應(yīng)符合規(guī)范的有關(guān)規(guī)定。（2）在導(dǎo)電地網(wǎng)上施工找平層，宜使用1:3干性水泥砂漿(按水泥重量的配比)摻入復(fù)合導(dǎo)電粉，復(fù)合導(dǎo)電粉由1份水泥砂漿與0.2%份導(dǎo)電粉組成，并攪拌均勻，覆蓋于導(dǎo)電地網(wǎng)上，然后鑲嵌分格條。（3）金屬嵌條截面宜為工字形，表面應(yīng)作絕緣處理，敷設(shè)時不得交叉和連接，相鄰處有3mm間距，分格條與導(dǎo)電網(wǎng)之間距離不應(yīng)小于10mm。（4）水磨石施工前應(yīng)清理基層地面并涂以絕緣漆，對于露出表面的金屬應(yīng)涂兩遍，然后敷設(shè)鋼筋導(dǎo)電地網(wǎng)，鋼筋直徑為4mm~6mm，地網(wǎng)與接地端子應(yīng)焊接牢固。（5）最后施工水磨石面層，應(yīng)符合規(guī)范的相關(guān)規(guī)定。（6）地面使用前應(yīng)在水磨石面層上打防靜電地板蠟。三、防靜電聚氯乙烯(PVC)地板（1）防靜電PVC地板的施工除應(yīng)符合規(guī)范的有關(guān)規(guī)定外，還應(yīng)采用非水溶性導(dǎo)電膠粘貼，非水溶性導(dǎo)電膠中炭黑與膠水的配合比為1:100，膠的電阻值應(yīng)小于貼...
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一、一般規(guī)定1消防系統(tǒng)施工使用的設(shè)備、組件和原材料應(yīng)符合設(shè)計要求，并采用符合法定機構(gòu)檢測確認合格的產(chǎn)品。2消防系統(tǒng)工程施工中采用的工程技術(shù)文件、承包合同文件對施工及質(zhì)量驗收的要求不得低于本規(guī)范的規(guī)定。3自動噴水滅火系統(tǒng)、氣體滅火系統(tǒng)和火災(zāi)自動報警系統(tǒng)的工程施工及驗收應(yīng)符合相應(yīng)的國家現(xiàn)行有關(guān)標準的規(guī)定。二、防排煙系統(tǒng)（1）排煙管道的安裝試驗應(yīng)符合規(guī)范的有關(guān)規(guī)定。（2）排煙管道的隔熱層應(yīng)采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。（3）磚、混凝土風(fēng)道的制作應(yīng)保證管道的氣密性，灰縫應(yīng)飽滿，內(nèi)表面水泥砂漿面層應(yīng)平整。（4）送風(fēng)口、排煙口的固定應(yīng)可靠，表面應(yīng)平整、無變形、調(diào)節(jié)靈活。排煙口距可燃物或可燃構(gòu)件的距離不應(yīng)小于1.5m。排煙口安裝時不應(yīng)影響防倒灌設(shè)施正常發(fā)揮作用。排煙口應(yīng)安裝板式排煙口，不應(yīng)漏風(fēng)。（5）排煙風(fēng)機的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1當(dāng)獨立排煙風(fēng)機設(shè)在混凝土或鋼架基礎(chǔ)上時可不設(shè)減振裝置；若需設(shè)置減振裝置，則不應(yīng)使用橡膠減振裝置。2排煙風(fēng)機宜安裝在該系統(tǒng)最高排煙口之上，并宜安在機房內(nèi)，機房與相鄰部位隔墻應(yīng)符合防火要求。三、防火卷簾、防火門和防火窗（1）防火卷簾安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應(yīng)采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當(dāng)采用不燃或難燃材料封堵時，其耐火極限應(yīng)不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護，其封堵材料亦應(yīng)采用水幕保護。2 鋼質(zhì)卷簾的簾板應(yīng)平直，裝配成卷簾...
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一、一般規(guī)定潔凈室配電系統(tǒng)施工應(yīng)按現(xiàn)行國家標準《建筑電氣工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB 50303的要求，對所需各種材料、管線、盤柜、開關(guān)、燈具等檢驗合格后進行。二、線路（1）潔凈區(qū)用電線路與非潔凈區(qū)線路應(yīng)分開敷設(shè)；主要工作（生產(chǎn)）區(qū)與輔助工作（生產(chǎn)）區(qū)線路應(yīng)分開敷設(shè)；污染區(qū)線路與清潔區(qū)線路應(yīng)分開敷設(shè)；不同工藝要求的線路應(yīng)分開敷設(shè)。（2）穿過圍護結(jié)構(gòu)的電線管應(yīng)加設(shè)套管，并用不收縮、不燃燒材料將套管密封。進人潔凈室的穿線管口應(yīng)采用無腐蝕、不起塵和不燃材料封閉。有易燃易爆氣體的環(huán)境，應(yīng)使用礦物絕緣電纜，并應(yīng)獨立敷設(shè)。（3）不應(yīng)在建筑鋼結(jié)構(gòu)構(gòu)件上焊接固定配電線路、設(shè)備的支架螺栓。（4）施工配電線路的接地（PE）或接零（PEN）支線必須單獨與相應(yīng)的干線連接，不得串聯(lián)連接。（5）金屬有線導(dǎo)管或線槽不應(yīng)焊接跨接接地線，應(yīng)用專用接地點跨接。（6）接地線穿越圍護結(jié)構(gòu)和地坪處應(yīng)加鋼套管，套管應(yīng)接地。接地線跨越建筑物變形縫時，應(yīng)有補償措施。三、電氣設(shè)備與裝置（1）潔凈室所用100A以下的配電設(shè)施與設(shè)備安裝距離不應(yīng)小于0.6m，大于100A時不應(yīng)小于1m。（2）潔凈室的配電盤（柜）、控制顯示盤（柜）、開關(guān)盒宜采用嵌人式安裝，與墻體之間的縫隙應(yīng)采用氣密構(gòu)造，并應(yīng)與建筑裝飾協(xié)調(diào)一致。（3）配電盤（柜）、控制盤（柜）的檢修門不宜開在潔凈室內(nèi)，如必須設(shè)在潔凈室內(nèi)，應(yīng)為盤、柜安裝氣密門。（4）盤（柜）內(nèi)外表面應(yīng)平滑，...
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一、給水1污染區(qū)域特別是微生物污染區(qū)域內(nèi)的供水管，不得與用水設(shè)備直接相連，必須有空氣隔斷，配水口應(yīng)高出用水設(shè)備溢出水位，間隔不應(yīng)小于2.5倍出水口口徑。在供水點和供水管路上均應(yīng)安裝壓差較高的倒流防止器，供水管上還應(yīng)設(shè)關(guān)斷閥，供水管上的倒流防止器和閥門應(yīng)設(shè)在清潔區(qū)。2潔凈區(qū)的給水管道應(yīng)涂上醒目的顏色，或用掛牌方式，注明管道內(nèi)水的種類、用途、流向等。3生活用水系統(tǒng)不應(yīng)采用鍍鋅鋼管，可選用給水塑料管、不銹鋼管、無縫鋼管，工藝和空調(diào)給水系統(tǒng)應(yīng)選用無縫銅管、聚丙烯管、不銹鋼管，并應(yīng)采用焊接或快速接口連接。二、排水1污染區(qū)特別是致病微生物嚴重污染區(qū)域的排水管應(yīng)明設(shè)，內(nèi)壁光滑，并與墻壁保持一定檢查維修距離。有高致病性微生物污染的排水管線宜設(shè)透明套管。2污染排水管道應(yīng)有足夠的強度和耐腐蝕性能。用化學(xué)滅菌的排水管道可用聚丙烯、聚氯乙烯材料。3致病微生物嚴重污染的排水管道如設(shè)有自動閥，應(yīng)在其前后再設(shè)手動閥，閥門安裝位置和方式應(yīng)有采用蒸氣和其他氣體滅菌的條件。4管線布置應(yīng)符合設(shè)計要求。當(dāng)設(shè)計未明確要求時，壓力給水管應(yīng)避讓重力流排水管；附件少的管道應(yīng)避讓附件多的管道。5致病微生物嚴重污染的排水管道上的通氣管應(yīng)伸出屋頂，距站人地面應(yīng)在2m以上，不要接到清潔區(qū)；周邊應(yīng)通風(fēng)良好，并遠離一切進氣口。處理排氣的高效空氣過濾器的安裝位置與方式應(yīng)方便維修和拆換。不同用途房間的排水通氣管應(yīng)各自獨立。不得將通氣口接入凈化空...
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