用于生產(chǎn)精密電子產(chǎn)品的受控環(huán)境就是電子工業(yè)潔凈室。該類潔凈室內(nèi)的污染物在空氣中的微粒、溫度、濕度、氣壓、氣流模式、空氣運動、振動、噪音、生物體和照明方面受到高度控制。

對于敏感的先進電子產(chǎn)品，現(xiàn)代OEM不能冒任何微粒污染的風險——微芯片上的微小灰塵可能與巨石一樣具有破壞性。受污染的產(chǎn)品每年給電子制造商造成數(shù)百萬美元的損失，可能導致失去最重要的ISO體系認證，并產(chǎn)生難以撼動的負面宣傳。

因此需要建立電子潔凈室，以防止高精度的電子產(chǎn)品損壞。同時，電子制造商必須確保其制造空間的清潔，以保持其產(chǎn)品的完整性。除了控制空氣中顆粒的數(shù)量和大小以防止不可修復的破壞外，電子潔凈室系統(tǒng)還可以滿足對防靜電要求。此外，電子處理和存儲需要潔凈室。

根據(jù)不同的應用，電子潔凈室將滿足特定的潔凈度要求。電子潔凈室必須符合兩個標準：

FED STD 209E：該標準根據(jù)標準單位(空氣體積單位為ft3)定義空氣中懸浮顆粒物的濃度。FS209E包含六個等級:1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，其中1級為“最干凈”，100000級為“最臟”。

ISO 14644-1：該標準根據(jù)標準單位(空氣體積單位為m3)定義了空氣中懸浮顆粒的濃度。ISO 14644-1有九個等級，ISO 1是“最干凈”的，ISO 9是“最臟”的。

這兩個標準都根據(jù)潔凈室空氣中發(fā)現(xiàn)的顆粒數(shù)量對潔凈室進行分類，可以互換使用。例如，ISO class 3大約等于FS209E class 1，而ISO class 8大約等于 FS209E class 100，000。需要去除的顆粒物水平取決于客戶設定的標準。

除了粒度和濃度標準，還有一些標準需要考慮：

• 溫度標準：22℃是電子電路的安全溫度

• 濕度標準：18-55%是理想的濕度范圍

• 差壓標準：壓差從15Pa到45Pa

電子工業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量和工藝可靠性的要求越來越高，需要在制造、處理和加工以及儲存過程中保持清潔的環(huán)境，因此潔凈室技術在光學和電子行業(yè)中發(fā)揮著越來越重要的作用。電子工業(yè)需要潔凈室的細分領域包括：

• 半導體制造

• 板材制造

• 光纖生產(chǎn)

• 晶圓運輸

• 真空室

• 干燥劑

• 無ESD晶圓和芯片存儲

• 紫外線敏感過程

• EUV研究

• 真空鍍膜

• 印刷

• 面罩矯正器

• 硅片和基板的封裝

在電子潔凈室，需要設計和配置各種建筑材料，以滿足精確的規(guī)格。這些電子潔凈室可防止對電子產(chǎn)品產(chǎn)生危害污染物，如化學蒸氣、氣溶膠顆粒、纖維材料和微生物。電子潔凈室需要HEPA過濾、正壓或負壓、溫度控制和監(jiān)控系統(tǒng)。

建造和設計電子潔凈室，從FS209E 100級到 100,000級，相當于 ISO 14644 5 到 8 級。對于 300,000 級潔凈室，可以使用亞 HEPA 過濾器。對于 100-100,000 級，建議安裝初級、二級和高效 HEPA 過濾器系統(tǒng)。二級過濾器和高效過濾器的風量應小于或等于潔凈室規(guī)定的風量。二級過濾器應集中在空氣處理系統(tǒng)的正壓部分周圍，而高效過濾器應集中在空氣處理系統(tǒng)的末端周圍。

微電子潔凈室構造?圖源：cleanroom-industries

一些電子潔凈室需要高性能塑料（如聚丙烯）生產(chǎn)線中的輔助產(chǎn)品。這些塑料耐酸、耐溶劑和耐大多數(shù)其他化學品，具備低磨損和良好的滑動性，還具有阻燃性。因此，它們特別適用于制造潔凈室產(chǎn)品中的搬運部件。以下是用到聚丙烯塑料的功能區(qū)：

• 定容化學排煙罩

• 旁路排煙罩

• 垂直流排氣100級工作站

• 濕法加工站

• 帶工藝罐的排煙罩

• 熱水浴

• 傾倒沖洗器

模塊化結構全墻系統(tǒng)

天花板

門窗系統(tǒng)：?圖源：octanorm-cleanroom

防靜電環(huán)氧樹脂地板結構?圖源：tennantcoatings

靜電會損壞產(chǎn)品，形成安全隱患，并引起顆粒的吸附，這些顆粒隨后會釋放到加工產(chǎn)品中。ESD幾乎在電子環(huán)境的各個方面都會影響生產(chǎn)力和產(chǎn)品可靠性。

包括半導體制造商、納米技術公司和其他電子制造公司的客戶，其潔凈室用品和服裝制造商提供用于控制有害顆粒的創(chuàng)新產(chǎn)品，如備有全套防靜電濕巾、ESD服裝、特種化學品和清潔用品，以及潔凈室顧問服務，幫您了解關鍵環(huán)境對無靜電、無塵設施的需求，以及對您的員工采取的安全預防措施：

• 防靜電工作服和實驗室外套

• 防靜電濕巾

• 防靜電清潔產(chǎn)品

• ESD 和防靜電手指套

• 防靜電無粉丁腈手套

• 防靜電和ESD鞋套

• 焊接用品和產(chǎn)品

• 模板濕巾和相關物品

• 防靜電地板和長凳墊

• 眼睛保護和護目鏡

• 鑷子和其他潔凈室手動工具

潔凈室制造商會為您設計一個全面完整安全的電子潔凈室，具有您需要的所有認證功能：

• 防靜電周邊窗簾

• 風淋室

• 實驗室案例

• 單向100級工作站

• 風機過濾單元

• 濕法站

• 負流排氣工作站

• 鞋柜
  

• 服裝柜

• 隔板

• 流程實用程序

• 氣柜

• 氣體面板

• 高純度管道

• 空氣污染控制系統(tǒng)

• 氮氣發(fā)生器

• 去離子水系統(tǒng)

• 有害氣體檢測系統(tǒng)

• 電離設備

• 抗靜電潔凈室用品

• 防靜電產(chǎn)品

• 暖通空調(diào)系統(tǒng)

• HEPA過濾系統(tǒng)

• 其他污染控制產(chǎn)品

圖源：cleanroomsbyunited

模塊化電子組裝潔凈室比標準結構更便宜，更易于安裝，并且可以最少的費用和停機時間進行修改、升級甚至重新安置，并且?guī)缀?00%可重復使用。使用隔熱墻板提供隔熱層，可提高性能和效率，同時降低能源成本。

電子裝配潔凈室的要求可能會因安裝而異，因此，考慮到這一點，您可以根據(jù)自身的規(guī)格設計定制潔凈室。?模塊化電子潔凈室可提供：

• HEPA過濾

• 正/負氣壓

• 溫度控制

• 監(jiān)控系統(tǒng)

• 更多選項