一、潔凈廠房?jī)?nèi)氣體動(dòng)力管道的敷設(shè)
氣體動(dòng)力管道一般包括蒸汽、壓縮空氣、氧氣、氮?dú)?、天然氣真空管道，潔凈廠房是指生產(chǎn)工藝有空氣潔凈度要求高的廠房。氣體動(dòng)力管道一般屬于GC類壓力管道。
氣體動(dòng)力管道的干管一般布置在技術(shù)夾層內(nèi)、技術(shù)夾道內(nèi)，當(dāng)有可燃、助燃和窒息性氣體時(shí)，應(yīng)有良好的通風(fēng)設(shè)施。
氣體管道的干管在廠房的進(jìn)口處，宜設(shè)置入口總閥、壓力表、真空表、超壓切斷、放散管、計(jì)量裝置、減壓裝置及過(guò)濾器等。
在室內(nèi)氣體干管的末端應(yīng)當(dāng)連接管徑不小于DN20的管道，并延伸到走廊端頭或者其他適當(dāng)?shù)牡胤揭陆倒?，在下降管上裝設(shè)吹除閥，同時(shí)設(shè)置緩沖箱。吹除時(shí)裝設(shè)臨時(shí)軟管接至排風(fēng)管或其它安全地方排出。摻雜氣體的主管、支管及分支管宜明裝敷設(shè)。主、支管管末端可不設(shè)吹除閥。
高(超)純氣體管線長(zhǎng)度應(yīng)盡量短，根據(jù)氣體耗量確定管徑，不宜設(shè)予留口，不應(yīng)出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的部位；在氣體終端純化裝置的進(jìn)、出口處，關(guān)鍵工藝設(shè)備的入口處以及必須進(jìn)行取樣的管段上應(yīng)設(shè)置取樣口。
氣體管道穿過(guò)潔凈室的墻壁、樓板時(shí)，在墻壁(或樓板)的孔洞內(nèi)管道不應(yīng)有焊縫，在孔洞的兩側(cè)應(yīng)用不銹鋼板封蓋，不銹鋼板與墻壁(或樓板)之間應(yīng)加設(shè)橡膠墊，不銹鋼板用螺釘固定在墻壁(或樓板)之間，均應(yīng)涂以硅膠密封劑進(jìn)行密封。
氣體管道或管道吊架的吊桿穿過(guò)頂棚時(shí)，管道(或吊桿)與頂棚之間亦應(yīng)涂以密封劑進(jìn)行密封。
可燃性氣體和氧氣管道的末端或最高點(diǎn)應(yīng)裝設(shè)放散管，放散管應(yīng)高出屋脊2米。在可燃?xì)怏w支管上應(yīng)設(shè)崗位水封，在放散管，上應(yīng)設(shè)置全天候阻火器。
在潔凈室內(nèi)，當(dāng)使用可燃性氣體或有毒性氣體的設(shè)備較多時(shí)，應(yīng)設(shè)置氣體濃度檢測(cè)報(bào)警裝置。氫、氧氣或易燃易爆管道應(yīng)有可靠的防靜電接地措施。
二、氣體動(dòng)力管道主材和閥門(mén)的選用
管道材料應(yīng)根據(jù)氣體純度的不同要求進(jìn)行選擇，高(超)純氣體管道材料應(yīng)具有化學(xué)穩(wěn)定性好，吸附性差，滲透性小等特性。
常用高純氣體管道應(yīng)根據(jù)所輸送的不同的氣體和用途選用不同品種的奧氏體不銹鋼管，盡量不用銅材質(zhì)造的管道，按純度要求≥99.9999應(yīng)采用不銹鋼管。≥99.99宜采用不銹鋼管。<99.99可用無(wú)縫鋼管。
氣體終端純化裝置入口側(cè)的高純氣體管道一般選用OCrl8Ni9 ，OCr19Nil0有縫或無(wú)縫不銹鋼管，但對(duì)于不經(jīng)過(guò)氣體終端純化處理而直接通往用氣點(diǎn)的高純氣體管道宜采用無(wú)縫不銹鋼管。
氣體終端純化裝置出口側(cè)的超純氣體管道及摻雜氣體的管道一般選用OCr17Ni11M02，lCrl8Ni11Nb無(wú)縫不銹鋼管。
接至工藝設(shè)備的管道應(yīng)選用不銹鋼管或不銹鋼波紋管道。不能使用聚四氟乙烯管或其它軟管。
輸送無(wú)毒無(wú)味氣體管如凈化干燥的壓縮空氣管真空管等一般選用熱軋鍍鋅鋼管。
高(超)純氣體管道選用閥門(mén)應(yīng)選用密封性良好的針形閥、球閥、隔膜閥、真空閥及角閥等。并注意介質(zhì)的壓力要求，對(duì)易燃易爆氣體使用閥門(mén)時(shí)壓力應(yīng)提高1~2個(gè)等級(jí)。
在潔凈室內(nèi)盡禁用銅和銅合金的閥門(mén)。取樣閥應(yīng)選用不銹鋼波紋管密封閥。選用閥門(mén)材料閥體、閥桿為OCr18Ni9 ；波紋管為lCrl8Ni11Nb；閥座、填料為聚四氟乙烯；密封墊可用不銹鋼、有色金屬或聚四氟乙烯。
視工藝生產(chǎn)、潔凈室或局部潔凈設(shè)備的潔凈度等級(jí)要求合理選用氣體管道的高效過(guò)濾器。
三、管道的連接
管道的連接應(yīng)采用特制的成型管接頭，三通彎頭等進(jìn)行套管焊接，對(duì)于不銹鋼管必須采用氬弧焊打底，施焊時(shí)在管內(nèi)通入氬氣(以高純度氬為好)，其管道附件的制作材料應(yīng)與其配管材料相同。
管道與設(shè)備、閥門(mén)的連接應(yīng)視具體情況采用法蘭、螺紋、卡套或其它密封性能優(yōu)良的連接方法，螺紋連接宜采用錐螺紋連接為好，這種連接方式，不需用密封墊。但必須在螺紋部分涂上密封劑后方能擰上，不能使用密封帶。
采用平螺紋連接時(shí)，必須加密封墊，其密封性亞于錐螺紋連接方式。
高(超)純氣體管與閥門(mén)，附件連接用的密封墊材料應(yīng)采用不銹鋼，有色金屬(如鎳等)聚四氟乙烯和氟橡膠等。
管子的切割不得使用氧炔焰，可采用手工或機(jī)械切割，切口應(yīng)與管軸線垂直。管切口表面平整不得有裂紋。不銹鋼管道粘有大量油脂類灰塵，應(yīng)放入清洗槽清洗，忌油管道須按設(shè)計(jì)要求進(jìn)行脫脂處理。
脫脂方法：脫脂溶劑采用四氯化碳，二氯乙烷或蒸餾乙醇。
管道外表面脫脂：用浸有溶液的抹布擦抹，然后自然風(fēng)干。
管道內(nèi)表面脫脂：將溶液灌入管段內(nèi)，灌入量占管段體積70%，將管段兩端堵嚴(yán)，水平放置10~15分鐘，每5分鐘滾動(dòng)一次，滾動(dòng)3~4次，倒出溶液，用氮?dú)獯蹈桑抵翢o(wú)溶液氣味為止。繼續(xù)自然放置24小時(shí)然后用木塞將管段兩段堵嚴(yán)備用。
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